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多通道獨立控溫冷水機 封裝溫度控制Chiller

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。多通道獨立控溫冷水機 封裝溫度控制Chiller

  • 產(chǎn)品型號:FLTZ-204
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-27
  • 訪  問  量:657
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

多通道獨立控溫冷水機 封裝溫度控制Chiller

多通道獨立控溫冷水機 封裝溫度控制Chiller

      

  

  光刻工藝是半導(dǎo)體制造中其中溫度控制對于確保光刻膠的均勻性和光刻過程的穩(wěn)定性影響比較大。以下是一些光刻工藝中溫度控制Chiller的應(yīng)用案例:

  案例一:光刻膠儲存和處理的溫度控制

  應(yīng)用描述:光刻膠對溫度非常敏感,其化學(xué)活性和粘度會隨溫度變化而變化。因此,維持光刻膠在儲存和處理過程中的適宜溫度是必要的。

  解決方案:使用Chiller為光刻膠儲存和處理系統(tǒng)提供準確的溫度控制,通常保持在5°C到10°C之間,以保持光刻膠的化學(xué)性能。

  效果:光刻工藝溫度控制chiller通過維持適宜的溫度,提高了光刻膠的穩(wěn)定性和一致性,減少了光刻過程中因光刻膠性能變化引起的缺陷。

  案例二:光刻機內(nèi)部環(huán)境的溫度控制

  應(yīng)用描述:光刻機內(nèi)部的環(huán)境溫度對光刻精度有直接影響。溫度變化可能導(dǎo)致光刻機機械部件的熱膨脹或收縮,影響對準精度。

  解決方案:在光刻機內(nèi)部安裝Chiller系統(tǒng),通過恒溫恒濕系統(tǒng)維持光刻車間的溫度在22°C±1°C范圍內(nèi)。

  效果:光刻工藝溫度控制chiller準確的溫度和濕度控制提高了光刻過程的穩(wěn)定性和重復(fù)性,減少了因環(huán)境變化引起的缺陷。


多通道獨立控溫冷水機 封裝溫度控制Chiller








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