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在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的當(dāng)下，半導(dǎo)體深冷機已成為其中的控溫設(shè)備。作為專業(yè)的冷卻設(shè)備制造商，冠亞恒溫致力于為芯片制造提供穩(wěn)定、有效的溫度控制方案，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)與性能表現(xiàn)。
一、半導(dǎo)體深冷機工作原理
半導(dǎo)體深冷機主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及箱體等核心部件構(gòu)成。其制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷技術(shù)，壓縮機及主要制冷組件均選用國際品牌，確保制冷效果。循環(huán)系統(tǒng)則包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻以及循環(huán)管道等，共同協(xié)作實現(xiàn)流體的循環(huán)與溫度控制。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，配備高清觸摸屏，并設(shè)有多種保護功能，以確保設(shè)備的安全穩(wěn)定運行。通過機組自身的制冷與加熱功能，半導(dǎo)體深冷機能夠向外界輸送穩(wěn)定的載熱流體，滿足各種工藝條件的需求。
二、半導(dǎo)體深冷機控溫對象
1.硅片制造：提供穩(wěn)定冷卻，確保化學(xué)機械拋光（CMP）效果均勻，提高硅片質(zhì)量。
2.沉積：控制薄膜沉積過程中的溫度，避免質(zhì)量不均。
3.光刻：調(diào)節(jié)曝光過程中的溫度，防止光刻膠流動，提高光刻精度。
4.刻蝕：穩(wěn)定刻蝕環(huán)境，防止過熱導(dǎo)致的刻蝕不均。
5.離子注入：冷卻離子注入過程中的熱量，確保離子分布均勻。
6.清洗：控制清洗液溫度，提高清洗效果。
7.電鍍：保持電鍍液溫度，確保鍍層均勻和結(jié)合力強。
8.測試：提供恒定測試環(huán)境，確保測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
三、半導(dǎo)體深冷機產(chǎn)品特點
1、全密閉系統(tǒng)設(shè)計
循環(huán)管路采用全密閉設(shè)計，并配備呼吸孔，有效延長導(dǎo)熱油的使用壽命，確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，同時避免油霧結(jié)霜現(xiàn)象的發(fā)生。
2、自主溫度控制模塊
該模塊支持控制設(shè)定的靈活調(diào)整，能夠快速響應(yīng)系統(tǒng)滯后，確保溫度控制的準(zhǔn)確性。采用兩組PID控制回路（主、從回路），結(jié)合前饋PV技術(shù)，實現(xiàn)梯度控制，進一步提高溫度控制的精度。
3、有效換熱系統(tǒng)
系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻與緊湊的容積設(shè)計，配備板式換熱器（用于制冷）和管道式法蘭加熱器（用于加熱），實現(xiàn)有效的熱交換過程。
4、控制重復(fù)性與穩(wěn)定性
半導(dǎo)體深冷機采用動態(tài)控制系統(tǒng)，顯著提升控制的重復(fù)性與穩(wěn)定性，確保設(shè)備在長時間運行過程中保持性能表現(xiàn)。
5、產(chǎn)品外觀特點
設(shè)備配備玻璃液位計，便于用戶觀察設(shè)備內(nèi)部情況，整體設(shè)計簡約時尚，既實用又美觀。
半導(dǎo)體深冷機通過提供準(zhǔn)確和穩(wěn)定的溫度控制，Chiller有助于提高封裝過程的質(zhì)量和效率，確保存儲芯片的性能和可靠性。
